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4轴真空直驱双臂蚕型晶圆搬运机器人

型号: 础贬驰系列
  • 高可靠真空隔离,从容应对高真空环境

  • 电机直接驱动机器人运动,提升运行可靠性

  • 高强度高刚性钢带传动,实现手臂高传动精度

  • 采用闭环伺服控制,实现高精度位置控制

  • 同时实现双工位交换晶圆动作(厂飞补辫)


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  • 高可靠真空隔离,从容应对高真空环境

  • 电机直接驱动机器人运动,提升运行可靠性

  • 高强度高刚性钢带传动,实现手臂高传动精度

  • 采用闭环伺服控制,实现高精度位置控制

  • 同时实现双工位交换晶圆动作(厂飞补辫)

4轴真空直驱双臂蚕型晶圆搬运机器人

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2024 - 09 - 03
价格: 础贬驰系列
●高可靠真空隔离,从容应对高真空环境●电机直接驱动机器人运动,提升运行可靠性●高强度高刚性钢带传动,实现手臂高传动精度●采用闭环伺服控制,实现高精度位置控制●同时实现双工位交换晶圆动作(厂飞补辫)
2024 - 09 - 03
价格: 础贬驰系列
高可靠真空隔离,从容应对高真空环境电机直接驱动机器人运动,提升运行可靠性高强度高刚性钢带传动,实现手臂高传动精度采用闭环伺服控制,实现高精度位置控制同时实现双工位交换晶圆动作(厂飞补辫)
2024 - 09 - 03
价格: 础贬驰系列
高可靠真空隔离,从容应对高真空环境电机直接驱动机器人运动,提升运行可靠性高强度高刚性钢带传动,实现手臂高传动精度采用闭环伺服控制,实现高精度位置控制
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