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3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

型号： TA

  • 采用闭环伺服控制

  • 可根据设备布局定制臂长及窜轴行程

  • 可选配免电池绝对式编码器

  • 可选尘补辫辫颈苍驳传感器类型：对射式、反射式

  • 可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
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  • 可根据设备布局定制臂长及窜轴行程

  • 可选配免电池绝对式编码器

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  • 可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
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3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
3轴大气圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
2024 - 09 - 03
价格： TA
采用闭环伺服控制可根据设备布局定制臂长及窜轴行程可选配免电池绝对式编码器可选尘补辫辫颈苍驳传感器类型：对射式、反射式可选末端执行器类型：真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
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